中国装备：屡次打破发达国家技术封锁

       雷震霖，现任国家真空仪器装置工程技术研究中心主任、真空技术装备国家工程实验室主任、辽宁省真空技术重点实验室主任。作为较早获得政府特殊津贴的青年专家之一，雷震霖在真空技术及应用领域，尤其是在半导体薄膜制备设备方面具有较高的理论和技术水平。

       多年来承担并完成了包括国家科技重大专项、国家科技支撑计划在内的17项国家重点、重大项目，拥有国际、国内发明专利10余项。

       屡次打破发达国家技术封锁
       作为一名出色的技术带头人，雷震霖先后主持或参与了17项国家项目、22项地方科研项目，屡次打破发达国家的技术封锁，解决了多项制约国家、地方新兴产业发展的共性关键技术，取得了近十项国际先进水平的技术创新成果，带动我国真空仪器装置局部水平实现了2-3代的跨越。

在雷震霖的带领下，真空技术装备国家工程实验室也成为真空行业中全国唯一的国家级工程实验室，为沈阳科技创新体系增添了中坚力量。近几年，雷震霖积极组织协调沈阳市优势科技力量，申报成功02国家科技重大专项项目10项，累计获得中央财政资金8亿元，使沈阳成为继北京、上海后承担国家IC装备重大专项最多的地区，为沈阳发展太阳能光伏、半导体照明LED等新兴产业打下了良好的技术基础，大大地提升了沈阳在全国科技创新体系中的地位。

       而其作为项目负责人承担的“90-65nm等离子体增强化学气相沉积设备研发与应用”项目取得了重大进展，成功研制出了具有完全自主知识产权的国内首台生产型12英寸PECVD设备，经过全流测试，已经成为生产线上的标准设备，开始批量生产；设备经过系列技术改进、TEOS氧化硅沉积工艺开发及在客户TSV样片上的工艺验证，已经进入到TSV市场领域。

       2013年，面向我国尖端科学仪器设备、国家大工程及先进制造工艺的迫切需求，雷震霖积极打造“产学研”技术研发平台，与东北大学、中科院金属所等单位联合承担了“耐腐蚀超洁净系列涡旋干式真空泵开发和应用”项目。项目完成后，预计3年内可实现2000台套的应用，为科研机构、生产企业提供稳定可靠、整体性能达到国外同类产品先进水平的干泵产品，可满足国家大科学工程等尖端科学仪器，航空航天、半导体制造等国计民生工程的应用需求。

       创建高端技术创新与产业化联盟
       为避免同行企业间的重复建设和恶性竞争，实现行业单位之间的优势互补和协同作战，构建完整的产业链，形成规模化的产业集聚效应，使沈阳大半导体产业的成套能力、系统集成能力和整体竞争实力得到质的提升，雷震霖先后发起成立了沈阳IC装备产业技术创新联盟、辽宁省半导体装备产业技术创新战略联盟，并被推选为首届理事长。值得一提的是，其中半导体装备技术创新联盟，现已发展成为年新增产值近20亿元的产业集群，预计到2016年，联盟将形成年产值超百亿元的产业规模。

       从国有事业单位的改革者到辽沈IC装备产业的领军人，雷震霖一直埋头于工作，虽然曾因劳累患肾癌而切除了一个肾，但是仅仅休养了两个月，他就又重新回到了工作岗位上，而对于他的病情，单位竟然有很多人并不知情。“雷博士就是这样，在单位我们从来没听他提起过工作以外的任何事，家里无论有什么事，他从来不跟我们讲，说的永远都只有工作。”雷震霖的同事这样告诉记者。

       作为技术带头人，雷震霖的大半生都始终不渝、而且乐此不疲的工作在科研和工程开发的第一线，取得了二十多项经济效益和社会效益显著的成果；作为实验室主任，实验室培育了一支优秀的国际水平的团队，有众多成果实现应用和产业化；作为辽沈地区集成电路装备产业的领头人，雷震霖与他的团队一直遵循着开放、合作、共赢的理念，与相关大学、院所联合，共同开发，共同推进辽沈地区的集成电路装备和零部件产业发展，成立了以实验室为牵头单位的半导体装备技术创新联盟。