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序号 | 技 术 项 目 | 主 要 技 术 参 数 |
1 | 规 格 型 号 | □□CVD-□□□>连接产品规格型号编制说明 |
2 | 结构与安装形式 | 圆形(方形)立式(卧式) |
3 | 有效装料空间 | 10-8000L(或根据客户要求定制) |
4 | 极限使用温度 | 1150℃-1600℃ |
5 | 常用工作温度 | 950℃-1500℃ |
6 | 最小使用寿命 | 3000次循环 |
7 | 温度均匀性能 | ±5~15℃ |
8 | 发热体材料 | 石墨/碳碳复合材料 |
9 | 适应气氛 | 苯烯、天然气等碳氢气体/氮气等惰性保护气氛/真空 |
10 | 可控炉压 | 20Pa(真空)-- 0.02MPa(微正压) |
11 | 供 电 电 源 | 三相AC380V/50Hz |
12 | 泵 噪 音 | ≤85dB(A) |
卧式结构炉型:采用水平移动方式开关炉门(本公司专利:ZL2010 2 0139780.5),由液压缸驱动,料台(物料装在料台上)与炉门铰接,随炉门水平移动进出炉膛(炉子加热区);小型炉子的炉门采用手动倒扣人工锁紧,大型炉子采用液压倒扣(本公司专利:ZL2014 2 2253066.2)自动锁紧。
立式结构炉型:采用垂直升降方式开关炉门(本公司专利:ZL2008 2 159541.9),由液压缸驱动、链条带动或电动减速机驱动、丝杆传动(两种方式可选),料台与链条或丝杆连接,垂直升降进出炉膛;小型炉子的炉门采用手动倒扣人工锁紧,大型炉子采用液压旋扣自动锁紧。为操作方便与安全,当料台降到地面时,本公司设计有料台从炉底移出机构供客户选择。
供排气方式:大面积多点均匀进气、大面积多管均匀抽排气、中段多点补气,炉内气体近乎直线型流动。由气体质量流量计和浮子流量计组合控制各点进气量,耐腐蚀抗粉尘真空泵抽排气。(本公司专利:ZL2011 2 0401891.3)
尾气处理:采用先胶油过滤后粉尘过滤组合处理。
炉压控制系统、加热与温度控制系统、电气控制与系统保护:详见《电气控制系统》描述。