1.石墨件处理：真空烘烤脱水并储存>石墨件真空烘箱（多层抽屉式装料）

2.硅 芯 存 放：真空环境下烘烤储存>硅芯真空烘箱（多层抽屉式装料）

3.石墨件脱水：热风烘烤脱水>石墨件热风烘箱（多层抽屉式装料）

3.石墨件纯化：真空煅烧处理>石墨件高真空煅烧炉(立式底部升降式装卸料）

4.硅 棒 破 碎：硅棒加热急冷式淬裂>硅棒热淬炉（列管式装料）